------------------------------------------------------------------------------

薬品洗浄
母材にやさしい生成物の除去を行う各種薬剤を選択し実施します。

物理的洗浄
ブラストマシーンまたは手作業での生成物の除去を行い、超音波洗浄等の仕上げを実施します。

部品精密洗浄
純水リンス、脱脂洗浄、超音波洗浄の組合わせで、超高真空のご使用に耐えられる仕上げをして、真空パックにて納品します。

------------------------------------------------------------------------------

洗浄槽各種（最大1200Ｌ、ＰＰ製、ＳＵＳ製）
定温乾燥機
ヘリウムリークディテクター
乾式ブラストマシーン
超音波洗浄機
純水製造装置
排気スクラバー
運搬機材（ハンドトラック、ジャッキ，養生資材等）
エアサス4ｔトラック

------------------------------------------------------------------------------

ＭＢＥ装置
洗浄メンテナンス、現地メンテナンス、移設
機器メンテナンス（イオンポンプ、R‐Heed、マニピュレーター、Ｋセル等）

ＭＯ－ＣＶＤ装置
洗浄メンテナンス、現地メンテナンス、移設
機器メンテナンス（水冷トラップ、除害筒、配管等）

機器部品メンテナンス
各種バルブ、蒸着装置防着板、ＥＣＲ冶具、イオンソース、シャワーヘッド、カーボン、モリブデン、タンタル、石英部品等

------------------------------------------------------------------------------

お客様との打ち合わせにより機器の設計、製作、改造等を行います。
（カーボン、モリブデン、タンタル等のレアメタル及び石英部品等）